凈化工程專題
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電子光學無塵車間

 

潔凈室簡介:
潔凈室是指將一定空間范圍內空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等污染物排除,并將室內溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給予特別設計的房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。

 

電子無塵車間1

 

潔凈室最主要之作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造,此空間我們稱之為潔凈室。按照國際慣例,無塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來規定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點灰塵,而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經是小的微乎其微,但是對于光學構造而言,哪怕是一點點的灰塵都會產生非常大的負面影響,所以在光學構造產品的生產上,無塵是必然的要求。

 

控管項目

1、能除去空氣中飄游之微塵粒子。
2、能防止微塵粒子之產生。
3、溫度和濕度之控制。
4、壓力之調節。
5、有害氣體之排除。
6、結構物與隔間之氣密性。
7、靜電之防制。
8、電磁干擾預防。
9、安全因素之考慮。
10、節能之考量。

電子無塵車間

 

無錫一凈優勢:

光學微電子凈化工程亦名無塵室或清凈室,目前已是半導體、精密制造、液晶制造、光學制造、線路板制造和生物化學、醫藥、食品制造等行業不可或缺的重要設施。近幾年來,由于技術之創新發展,對于產品的高精密度化、細小型化之需求更為迫切,如超大型積體電路之研究制造,已成為世界各國在科技發展上極為重視的項目,而我公司較早的認識到這一點,并早早的擁有一支專業的、責任心強、技術過硬的高質量施工團隊,專業的工程師吸納了國外優秀的凈化工程規劃設計理念及工程品質控制技術,并在工程實踐中不斷積累和創新,不僅掌握了尖端的潔凈工藝技術、全新的設計理念,并且具備了規范高效的工程施工管理手段。

 

電子無塵車間3

 

電子光學無塵車間 

   電子光學(半導體、PCB、芯片、晶片、攝像頭、光學鏡片、LCD、OLED、液晶、顯器件FED、多晶硅等)的生產對車間環境要求很嚴,制造工序不同,部分區域的潔凈度要求也不同,通常以十級、百級、千級、萬級、十萬級為標準。而每一個區域環境,如溫度、濕度,潔凈室工藝方面也要考慮照明、抗靜電、抗威震、廢棄廢水、大宗氣體和特殊氣體的排放等,同樣有規范標準,這些環境參數關系到產品的合格率和使用壽命,因此超潔凈車間才能賦予產品品質上的首要保障。

 

潔凈室重要性:
潔凈室的潔凈度往往受到氣流的影響,換言之,即人、機器隔間、建筑結構等所產生的塵埃之移動、擴散受到氣流的支配。 潔凈室系利用HEPA、ULPA過濾空氣,其塵埃的收集率達99.97~99.99995%之多,因此經過此過濾器過濾的空氣可說十分干凈。然而潔凈室內除了人以外,尚有機器等之發塵源,這些發生的塵埃一旦擴散,即無法保持潔凈空間,因此必須利用氣流將發生的塵埃迅速排出室外。

 

電子無塵車間2

 

光學微電子凈化工程結構材料:
1. 凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造,其特點為美觀、剛性強。圓弧墻 角、門、窗框等一般采用專用氧化鋁型材制造。
2.地面可采用環氧自流坪地坪或高級耐磨塑料地板,有防靜電要求的,可選用防靜電型。
3.送回風管道用熱渡鋅板制成,貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發泡塑膠板。
4.高效送風口用不銹鋼框架,美觀清潔,沖孔網板用烤漆鋁板,不生銹不粘塵,宜清潔。

 

電子無塵車間

 

電子無塵車間凈化參數:
換氣次數:100000級≥15次;10000級≥20次;1000級≥30次;
壓差:主車間對相鄰房間≥5Pa;
平均風速:10級、100級0.3-0.5m/s;溫度 冬季>16℃;夏季<26℃;波動±2℃;
濕度45-65%;GMP粉劑車間濕度在50%左右為宜;電子車間濕度略高以免產生靜電;
噪聲≤65dB(A);
新風補充量是總送風量的10%-30%;照度300LX。

 

凈化車間隔墻鋼化玻璃觀察窗示意圖

電子無塵車間

鋼化玻璃凈化觀察窗,大小為2400W*1200H,窗戶離地高度為1.2米

 

設計方案:
光學微電子行業凈化工程設計方案分析對于常規電子廠房潔凈室空調的設計,應根據電子廠房的生產工藝要求及甲方的經濟條件來選用哪種空調設計方案,以滿足生產工藝的要求作為前提。根據以往經驗,對于要求高的可以選用組合式空氣處理機組集中處理的空調方案;對于要求不高的,又要初投資低的,可以選用柜機+FFU?傊,具體的方案選擇根據具體情況而定。

 

內部細節展示

 

無菌操作室注意事項:
1.安全注意事項 嚴格無菌操作,防止微生物污染;操作人員進入無菌室應先關掉紫外燈。
2.無菌室應設有無菌操作間和緩沖間,無菌操作間潔凈度應達到10000級,室內溫度保持在20-24℃,濕度保持在45-60%。超凈臺潔凈度應達到100級。
3.無菌室應保持清潔,嚴禁堆放雜物,以防污染。嚴防一切滅菌器材和培養基污染,已污染者應停止使用。
4.無菌室應定期用適宜的消毒液滅菌清潔,以保證無菌室的潔凈度符合要求。
5.需要帶入無菌室使用的儀器,器械,平皿等一切物品,均應包扎嚴密,并應經過適宜的方法滅菌。
6.工作人員進入無菌室前,必須用肥皂或消毒液洗手消毒,然后在緩沖間更換專用工作服,鞋,帽子,口罩和手套(或用70%的乙醇再次擦拭雙手),方可進入無菌室進行操作。
7.無菌室使用前必須打開無菌室的紫外燈輻照滅菌30分鐘以上,并且同時打開超凈臺進行吹風。操作完畢,應及時清理無菌室,再用紫外燈輻照滅菌20分鐘。
8.供試品在檢查前,應保持外包裝完整,不得開啟,以防污染。檢查前,用70%的酒精棉球消毒外表面。
9.凡帶有活菌的物品,必須經消毒后,才能在水龍頭下沖洗,嚴禁污染下水道。

 


 

 

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